美国MKS micorpirani真空传感器

1，一个独特的，基于mems的传感器。

2，常用于半导体设备及其他分析仪器中的真空压力测量。

3，十分小型和紧凑。

本产品的加工定制是否，品牌是美国MKS，型号是925，测量范围是10-3TORR（kPa），精度等级是0.5%，适用范围是真空